舜宇-MX系列半导体检查显微镜

类型 MX系列半导体检查显微镜
品牌 舜宇
型号 MX12R/ MX68R
18640816810
产品详情

MX12R


物镜、孔径光阑等采用电动切换模式,操作更加方便快捷。配置12 寸超大移动平台,为半导体、FPD 检测提供最佳的应用环境。最大可支持 300mm 晶圆及17英寸液晶面板的检查。

MX68R

全新的MX68R半导体 \FPD 检查显微镜最大支持200mm 晶圆及 11英寸液晶面板的检查,含 468英寸多种转盘,可适用不同尺寸的晶圆检查。人机工程学设计全面提升,为用户提供更加舒适、灵活、快捷的操作体验。


MX12R技术规格

光学系统

无限远色差校正光学系统

观察方式

明场/暗场/偏光/DIC

观察筒

无限远铰链三通观察筒,0-35°倾角可调,正像,瞳距调节:50-76mm,分光比100:0 0:100

目镜

高眼点大视野平场目镜PL10X/25mm,视度可调,可带单刻度十字分划版

物镜

明暗场半复消金相DIC物镜5X10X20X50X100X

长工作距明暗场半复消金相DIC物镜20X

无限远长工作距明暗场半复消金相物镜50X100X

明场半复消金相DIC 物镜 5X10X20X50X100X

超长工作距明场半复消金相DIC物镜20X

转换器

明暗场六孔电动转换器,带DIC插槽

机架组

反射式机架,前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V宽电压系统

透反机架,前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V宽电压系统

载物台

右手位14×12 英寸三层机械移动平台,低手位 XY 方向同轴调节 ;平台面积 710mmX420mm,移动范围 :356mmX305mm ;带离合器手柄,可用于全行程范围内快速移动 ;反射配金属平台,透反配玻璃平台

照明系统

明暗场反射照明器,带可变电动孔径光阑,视场光阑,中心均可调;带明暗场照明切换装置;带滤色片插槽与偏光装置插槽

摄影摄像

0.35X/0.5X/0.65X/1X摄像接筒,C型接口,可调焦

其他

起偏镜插板,固定式检偏镜插板,反射用干涉滤色片组;高精度测微尺;DIC组件

MX68R技术规格

光学系统

无限远色差校正光学系统

观察方式

明场/暗场/偏光/DIC

观察筒

无限远铰链三通观察筒,0-35°倾角可调,正像,瞳距调节:50-76mm,分光比100:0 0:100

目镜

高眼点大视野平场目镜PL10X/22mm,可带测微尺

高眼点大视野平场目镜PL10X/23mm,视度可调,可带测微尺

物镜

明暗场半复消金相物镜(5X10X20X50X100X

长工作距明暗场半复消金相物镜(20X50X100X

转换器

明暗场六孔电动转换器,带DIC插槽

机架组

反射式机架,前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V宽电压系统

透反机架,前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V宽电压系统

载物台

8英寸三层机械移动平台,低手位 XY 方向同轴调节 ;平台面积 525mmX330mm,移动范围 :210mmX210mm;带离合器手柄,可用于全行程范围内快速移动 ;玻璃载物台板 ( 反射用)

照明系统

明暗场反射照明器,带可变电动孔径光阑,视场光阑,中心均可调;带明暗场照明切换装置;带滤色片插槽与偏光装置插槽

摄影摄像

0.5X/0.65X/1X 摄像接筒,C 型接口,可调焦

其他

起偏镜插板,固定式检偏镜插板,反射用干涉滤色片组;高精度测微尺;DIC组件