MX12R
物镜、孔径光阑等采用电动切换模式,操作更加方便快捷。配置12 寸超大移动平台,为半导体、FPD 检测提供最佳的应用环境。最大可支持 300mm 晶圆及17英寸液晶面板的检查。
MX68R
全新的MX68R半导体 \FPD 检查显微镜最大支持200mm 晶圆及 11英寸液晶面板的检查,含 4、6、8英寸多种转盘,可适用不同尺寸的晶圆检查。人机工程学设计全面提升,为用户提供更加舒适、灵活、快捷的操作体验。
MX12R技术规格 | |
光学系统 | 无限远色差校正光学系统 |
观察方式 | 明场/暗场/偏光/DIC |
观察筒 | 无限远铰链三通观察筒,0-35°倾角可调,正像,瞳距调节:50-76mm,分光比100:0 或0:100。 |
目镜 | 高眼点大视野平场目镜PL10X/25mm,视度可调,可带单刻度十字分划版 |
物镜 | 明暗场半复消金相DIC物镜5X、10X、20X、50X、100X |
长工作距明暗场半复消金相DIC物镜20X | |
无限远长工作距明暗场半复消金相物镜50X、100X | |
明场半复消金相DIC 物镜 5X、10X、20X、50X、100X | |
超长工作距明场半复消金相DIC物镜20X | |
转换器 | 明暗场六孔电动转换器,带DIC插槽 |
机架组 | 反射式机架,前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V宽电压系统 |
透反机架,前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V宽电压系统 | |
载物台 | 右手位14×12 英寸三层机械移动平台,低手位 X、Y 方向同轴调节 ;平台面积 710mmX420mm,移动范围 :356mmX305mm ;带离合器手柄,可用于全行程范围内快速移动 ;反射配金属平台,透反配玻璃平台 |
照明系统 | 明暗场反射照明器,带可变电动孔径光阑,视场光阑,中心均可调;带明暗场照明切换装置;带滤色片插槽与偏光装置插槽 |
摄影摄像 | 0.35X/0.5X/0.65X/1X摄像接筒,C型接口,可调焦 |
其他 | 起偏镜插板,固定式检偏镜插板,反射用干涉滤色片组;高精度测微尺;DIC组件 |
MX68R技术规格 | |
光学系统 | 无限远色差校正光学系统 |
观察方式 | 明场/暗场/偏光/DIC |
观察筒 | 无限远铰链三通观察筒,0-35°倾角可调,正像,瞳距调节:50-76mm,分光比100:0 或0:100。 |
目镜 | 高眼点大视野平场目镜PL10X/22mm,可带测微尺 |
高眼点大视野平场目镜PL10X/23mm,视度可调,可带测微尺 | |
物镜 | 明暗场半复消金相物镜(5X、10X、20X、50X、100X) |
长工作距明暗场半复消金相物镜(20X、50X、100X) | |
转换器 | 明暗场六孔电动转换器,带DIC插槽 |
机架组 | 反射式机架,前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V宽电压系统 |
透反机架,前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V宽电压系统 | |
载物台 | 8英寸三层机械移动平台,低手位 X、Y 方向同轴调节 ;平台面积 525mmX330mm,移动范围 :210mmX210mm;带离合器手柄,可用于全行程范围内快速移动 ;玻璃载物台板 ( 反射用) |
照明系统 | 明暗场反射照明器,带可变电动孔径光阑,视场光阑,中心均可调;带明暗场照明切换装置;带滤色片插槽与偏光装置插槽 |
摄影摄像 | 0.5X/0.65X/1X 摄像接筒,C 型接口,可调焦 |
其他 | 起偏镜插板,固定式检偏镜插板,反射用干涉滤色片组;高精度测微尺;DIC组件 |